根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的不同要求(溫度、濕度、潔凈度、正壓...)，可以分為四種不同的送風(fēng)系統(tǒng)。① DC供氣系統(tǒng)。 (2)回風(fēng)供應(yīng)系統(tǒng)。 (3)一、二次回風(fēng)送風(fēng)系統(tǒng)。 ④新風(fēng)機(jī)組(MAU)和循環(huán)機(jī)組(RCU)送風(fēng)系統(tǒng)。 其次是空調(diào)凈化系統(tǒng)中的空氣分離和送風(fēng)方式。一種將送風(fēng)與空調(diào)送風(fēng)分開的方法，以消除室內(nèi)余熱和濕度，潔凈送風(fēng)，保證室內(nèi)潔凈度水平。即消除室內(nèi)余熱和濕度的空調(diào)送風(fēng)量(約占總送風(fēng)量的10% ~ 30%)在位于空調(diào)機(jī)房的空調(diào)機(jī)組(AHU)或新風(fēng)機(jī)組(MAU)中進(jìn)行熱濕處理，保證室內(nèi)溫度和相對(duì)濕度，凈化送風(fēng)量(占總送風(fēng)量的70% ~ 90%)在潔凈室中循環(huán)，保證室內(nèi)潔凈度。

潔凈車間是耗能大戶。據(jù)了解，大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的潔凈車間用電負(fù)荷數(shù)萬千瓦，其能耗包括:生產(chǎn)設(shè)備用電、用熱和用冷；凈化空調(diào)系統(tǒng)的耗電量、耗熱量和冷負(fù)荷；制冷機(jī)組(系統(tǒng))、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負(fù)荷的耗電量小于各種氣體和純物質(zhì)的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設(shè)施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產(chǎn)設(shè)備因產(chǎn)品品種和生產(chǎn)工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通?？烧伎偰芎牡?5% ~ 35%，潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的冷負(fù)荷是一般空調(diào)系統(tǒng)的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的能耗

潔凈室的節(jié)能 為了降低潔凈室的能耗，應(yīng)從潔凈室的規(guī)劃設(shè)計(jì)階段就考慮節(jié)能。降低潔凈室能耗的主要途徑是合理確定潔凈室的面積和適當(dāng)選擇潔凈度等級(jí)。選擇先進(jìn)的低能耗公共電力系統(tǒng)和設(shè)備；合理確定潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)等?？梢圆扇〉墓?jié)能措施包括: (1)場(chǎng)地和總平面布置，盡量選擇空氣污染少、產(chǎn)塵少的場(chǎng)地建廠，潔凈室布置在污染少的地方，注意朝向布置。 (2)在工藝布局上，盡可能減少潔凈室面積或減少潔凈度要求嚴(yán)格的潔凈室面積|不能設(shè)置在潔凈室的工藝和設(shè)備應(yīng)設(shè)置在非潔凈室<適當(dāng)確定各類房間的潔凈度等級(jí)，不隨意提出潔凈度要求，組織好人流、物流并布置好輔助用房，配合相關(guān)專業(yè)選擇潔凈室的形式和空間布局。 (3)合理確定潔凈室的建筑形式，減少冷量損失。 (4)優(yōu)化凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理流程。 (5)盡量減少制冷(制熱)負(fù)荷，